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洁净烘箱 型号:Class-480A/B

简要描述:产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

  • 产品型号:Class-480A/B
  • 更新时间:2024-11-01
  • 访  问  量:111

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参数配置

细节图解

洁净烘箱  型号:Class-480A/B

产品特点

     该设备是一种新型工业级洁净干燥设备,采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。

产品用途

产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

结构特点:

外壳:外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑,也可选用不锈钢材质。

内胆:采用SUS304镜面不锈钢厚度1.2-1.5mm厚度之镜面不锈钢板,采用圆弧R角满焊处理,易清理,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE1。

保温层:采用高级保温棉,六面保温断热,保温厚度为80mm-150mm,保温性能好。

载物层架:可根据物品大小调节层间距,空间利用率高

控制系统:

控制面板:采用PID自动演算,7寸触摸屏显示,温度、时间曲线、可编程分段设置等参数

报警功能:带传感器断线报警功能,带超温警报保护功能,确保产品运行安全

加热管:加热管位于设备背面(可以有效避免液体滴到加热管上引起爆燃现象)

 

风道结构:

 风道结构:风道采用背部吸风,上下及两侧四面吹风,确保箱内温度均匀性采用高密度冲孔风板

  送风装置:采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶,涡轮经水平纠正处理,确保运风平稳

  送风装置安全保护系统:带超温过载过流保护功能,确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

   电加热系统:采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器,洁净不产尘

洁净循环系统

 采用平面水平后边送风后,经耐高温高效过滤器H.E.P.A装置往上下及两侧四面(特殊风道设计)方向送风,0.3um直径PARTICLE,过滤效率99.97%,箱内洁净度可达Class 100。

    排气口:(附自动启闭风门),以达到强烈循环效果而降温。

    压差计:进口压差计,可实时监控H.E.P.A工作状态。

    配全自动开关风门,烘烤过程风门紧闭,确保内部对外封闭,防止外部排风PARTICLE回尘污染

安全功能:

    采用超温保护系统,确保箱体在运行过程中的整体安全性能。

    箱体内部电器保护系统(确保箱体内部电器运行平稳,安全可靠):

    超温防止器(独立限温,超温断电);

    相序保护(欠压欠相保护);

    马达过电流保护;

    控制线路保险丝;

    电热过电流保护;

无熔丝开关。

 

 

 

参数介绍:

产品名称

洁净烘箱

产品型号

Class-480A

Class-480B

显示方式

7寸触摸屏显示,TIMI/富士品牌

电源电压

AC380V 50HZ(三相五线制)  

控温范围

室温+10~200℃

室温+10~300℃

温度分辨率

0.1℃

波动度

±1

均匀度

 ±1.5%

循环方式

强制对流

进气口

Φ16mm

箱内洁净度

Class100/Class1000/Class10000 

过滤器

耐高温高效过滤器

定时方式

1-9999min

输入功率

11KW

内胆尺寸(W*D*Hmm

800*600*1000

外形尺寸(W*D*Hmm

1290*965*1790

开门方式

双开门

载物托架(标配)

2层(承重30KG)

定时范围

09999min/h

容积

480L

重量

450KG

备注: 1.以上所有机型外观尺寸仅供参考,实际尺寸以实物为准;

         2.产品内部尺寸可根据客户要求进行非标定制

 


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